利用洛埃鏡法測量透明薄膜厚度

王錦輝; 趙西梅; 孫存英; 王宇興 上海交通大學(xué)物理與天文學(xué)院; 上海200240

關(guān)鍵詞:洛埃鏡 透明薄膜 厚度測量 誤差分析 

摘要:將一面貼有透明手機(jī)保護(hù)膜的光學(xué)玻璃片作為洛埃鏡,激光經(jīng)擴(kuò)束鏡形成點(diǎn)光源,先掠射入無膜和有膜表面,通過干涉條紋間距測量,得到激光波長和手機(jī)保護(hù)膜厚度。波長和膜厚測量結(jié)果相對誤差分別為0.82%和2.7%。文章給出了測量原理、實(shí)驗(yàn)步驟以及數(shù)據(jù)處理結(jié)果。相對于其他透明薄膜厚度測量方法,利用洛埃鏡法測量透明薄膜厚度原理簡單、設(shè)備要求不高、快捷、實(shí)用性較強(qiáng)。文章還通過誤差分析提出減少激光波長實(shí)驗(yàn)誤差的方法是測量實(shí)虛光源間距時(shí),光源與屏的距離應(yīng)稍大于4倍透鏡焦距,而測量干涉條紋間距時(shí),光源與屏距離越大越好。在進(jìn)行膜厚測量時(shí)光源與屏距離不能太大,點(diǎn)光源應(yīng)盡量靠近膜表面。

大學(xué)物理實(shí)驗(yàn)雜志要求:

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