熱學(xué)環(huán)境下2.5D封裝器件60Pb40Sn互連焊點(diǎn)可靠性研究

文惠東; 張代剛; 劉建松; 徐士猛 北京微電子技術(shù)研究所; 北京100076

關(guān)鍵詞:含鉛焊點(diǎn) 可靠性 

摘要:2.5D封裝具有信號(hào)傳輸快、封裝密度高等特點(diǎn),被廣泛應(yīng)用于高性能集成電路封裝工藝中。目前2.5D器件在互連焊點(diǎn)方面通常采用無鉛焊料,不滿足宇航用器件含鉛量不低于3%的要求。采用60Pb40Sn焊料作為2.5D封裝器件中硅轉(zhuǎn)接基板與上層芯片之間互連焊點(diǎn),評(píng)估了60Pb40Sn焊點(diǎn)的互連可靠性,結(jié)果顯示器件在1000次-65~150℃溫度循環(huán)、1000 h 150℃穩(wěn)定性烘焙、500次-65~150℃熱沖擊后互連合格,初步證實(shí)了60Pb40Sn焊料在2.5D封裝器件應(yīng)用的可行性。

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