關(guān)鍵詞：絕緣體上硅 微環(huán)諧振器 可調(diào)諧性 

摘要：研究了基于絕緣體上硅(SOI)單環(huán)以及雙環(huán)諧振器直通端的濾波特性,分析了直波導(dǎo)-環(huán)波導(dǎo)光耦合系數(shù)和環(huán)間波導(dǎo)光耦合系數(shù)對(duì)輸出特性的影響。本文提出了在諧振器耦合區(qū)采用馬赫-曾德爾干涉儀(MZI)的改進(jìn)耦合結(jié)構(gòu),在微環(huán)腔長(zhǎng)1 218μm的單環(huán)和雙環(huán)濾波器中,分別在19 mW和9 mW的功率范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)諧振器從欠耦合到臨界耦合狀態(tài)的調(diào)諧,在0~26 mW的功率范圍內(nèi),雙環(huán)濾波器實(shí)現(xiàn)了諧振波長(zhǎng)一個(gè)自由譜范圍(FSR)的可調(diào)諧濾波特性。

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