關鍵詞：探測器 雪崩光電二極管 陣列 紅外波段 三維成像 

摘要：單光子雪崩光電探測器(SPAD)具有雪崩增益大、響應速度快、探測效率高、易于集成的特點。SPAD陣列器件可進行弱光三維成像,在生物化學、量子通信、激光雷達等領域具有重要應用。因此開展SPAD器件及陣列探測技術的研究具有非常重要的意義。給出了近紅外InGaAs/InP SPAD單元工作原理和陣列結構性能,對暗計數率、探測效率、后脈沖等主要影響因素和器件優化方向進行總結,概述了近年來SPAD陣列器件的主要技術方案,給出了串擾來源和消除方法,并對相關研究單位的技術與結果進行對比。

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