關鍵詞：叉指電極 氣敏薄膜 初始電阻 微分方程 

摘要：叉指電極可有效降低金屬氧化物半導體氣敏薄膜的測試電阻,有利于薄膜氣敏性能的測量,已廣泛用于薄膜型氣體傳感器上。而叉指電極的尺寸不僅會影響傳感器表面的熱量分布,也會對薄膜初始電阻造成影響。提出了解微分方程法計算叉指電極上氣敏薄膜的初始電阻,推導了計算薄膜初始電阻的微分方程,采用COMSOL軟件中的AC/DC模塊,對特定尺寸叉指電極上的氣敏薄膜在不同工作溫度時初始電阻進行了仿真,并與實驗進行了對比,證明了該方法的可行性。

金陵科技學院學報雜志要求:

{1}前言：主要概述本文的立題依據、研究思路、實驗基礎及國內外現狀，并應明確說明本文研究目的、創新性或特點等。

{2}論點新穎，論證充分，結論可靠，條理分明，數據準確，文字精練。

{3}論著應附中、英文摘要。中文摘要不超過400字，英文摘要與中文摘要相對應。摘要采用第三人稱撰寫，必須包括目的、方法、結果和結論四部分。

{4}作者簡介（含姓名、工作單位、職稱、學歷學位、研究方向、通信地址、郵政編碼、聯系電話、電子郵箱）。

{5}來稿若系基金資助課題，請注明項目來源、項目編號及項目負責人。

注：因版權方要求，不能公開全文，如需全文，請咨詢雜志社