關鍵詞：實驗設計 混料試驗 光刻膠 剝離液 

摘要：通過混料實驗設計篩選出合適的光刻膠剝離液體系及組份含量。對剝離液體系進行持續溶解監控,借助六西格瑪過程控制分析確定更優的剝離液組合物。溶膠量的測試結果證明,含溶劑二乙二醚丁醚、N-甲基吡咯烷酮、乙醇胺及添加劑200的剝離液,其溶膠量可超4.1 m^2/加侖,這樣就可以減少光刻膠剝離液開槽次數,提高生產效率,降低成本。

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