關鍵詞：薄膜晶體管 高介電常數 柵介質材料 柵介質尺寸 

摘要：系統地對基于高介電常數材料HfO2和傳統的介質材料SiO2這兩種不同柵介質層材料的硅薄膜晶體管進行建模并對不同尺寸和溫度條件下的薄膜晶體管的工作特性進行了研究.獲得了不同溝道長度和溝道寬度,不同柵介質層厚度和不同溫度條件下的薄膜晶體管的工作特性曲線.通過對比發現,薄膜晶體管的飽和電流與溝道長度和柵介質層厚度成反比,與溝道寬度成正比,與理論計算一致.隨著溫度的升高,薄膜晶體管的載流子遷移率和閾值電壓都在逐漸減小,因而飽和電流值逐漸減小;在相同柵介質層尺寸和溫度條件下,基于HfO2的薄膜晶體管相對于基于SiO2的薄膜晶體管具有更高的電流開關比,更低的閾值電壓和更小的泄漏電流.因此,基于高介電常數柵介質材料的薄膜晶體管相對于基于SiO2的薄膜晶體管具有更好的性能.

南京大學學報·自然科學雜志要求:

{1}基金項目的成果或論文，請在首頁注明基金項目類別、課題項目名稱及編號。

{2}稿件要求資料真實可靠，內容充實，論點明確，推論嚴謹，設計合理，數據準確，結構嚴密，層次分明，文通句順，字跡端正。

{3}題名：恰當、準確、簡明、清楚的反映論文全部重要信息，盡可能將表達核心內容的主題詞放在題名開頭，保證檢索的敏感性和特異性。慎用縮略語、特殊符號、疾病例數等。一般不超過20個漢字。

{4}參考文獻緊接正文，重復文獻請以第一次出現的次序標注。

{5}摘要須簡潔客觀地反映文章主要內容及觀點，字數在300字以內。關鍵詞是反映文章主要內容及觀點的詞或詞組，數量為3～8個，多個關鍵詞之間用分號分隔。

注：因版權方要求，不能公開全文，如需全文，請咨詢雜志社