關鍵詞：小角散射 mpcvd 單晶金剛石 

摘要：根據小角散射原位加載測試的應用需求,采用自行研制的2. 45 GHz/6 k W穹頂式微波等離子體化學氣相沉積(MPCVD)裝置進行高質量單晶金剛石窗口的制備,對晶托結構進行改進,并系統研究了沉積溫度對單晶金剛石生長速率、表面形貌、結晶質量、X射線透過率的影響。實驗結果表明,新型晶托結構使籽晶表面溫度分布均勻,有利于提升單晶金剛石結晶質量;沉積溫度1000℃下制備單晶金剛石樣品表面形貌、拉曼曲線半峰寬、搖擺曲線半峰寬、X射線透過率均優于其它溫度的樣品,并最終在該溫度下制備出Φ7×0. 5 mm2的單晶金剛石窗口。經測試,樣品生長速率可達11. 6μm/h,厚度偏差小于±2%,其Raman半峰寬為2. 08 cm-1,XRD搖擺曲線半峰寬為28arcsec,PL譜中未出現與氮相關的雜質峰,X射線透過率超過80%且窗口耐壓達到27 MPa,所有性能均滿足小角散射原位加載測試的應用需求。

人工晶體學報雜志要求:

{1}來稿請一律采用word文檔，將作者姓名、所在單位、通訊地址、郵政編碼、聯系、電話、E-mail地址等信息放在來稿的首頁。

{2}鼓勵首發，反對抄襲、剽竊等侵犯他人著作權的行為。由此給本刊造成不良后果的，本刊將追究責任。

{3}文題要簡明地反映文章內容，一般不宜超過20個字，作者姓名排在文題下。

{4}采用順序編碼制著錄。文獻數論著不超過15篇，綜述不超過30篇。盡量引用近2年登載論文作參考文獻，內部資料和尚未發表者請勿列入。

{5}關鍵詞是反映論文主題概念的專有名詞或詞組，一般應選3-5個

注：因版權方要求，不能公開全文，如需全文，請咨詢雜志社