關鍵詞:聚焦激光束 微納材料 微納操控 微納加工 微納改性
摘要:低維微納材料因其特有的小尺寸效應以及由此而來豐富的物理性質,預示著其在后摩爾時代的電子、光電器件中將發揮重要作用。由于微納材料的小尺寸特性,通過運用傳統技術,很難實現對微納材料的精準操控,制約了微納材料在微型化、集成化、多元化器件中的應用。文章回顧了聚集激光技術的發展歷程,重點介紹如何通過聚焦激光束實現對微納材料的精準操控、加工與改性,并對聚焦激光技術的研究前景進行展望。
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