關(guān)鍵詞：制造工藝 微晶玻璃 零收縮 

摘要：簡(jiǎn)述了低溫共燒陶瓷(LTCC)介質(zhì)基板的優(yōu)缺點(diǎn),介紹了國(guó)內(nèi)外LTCC基板材料的主要生產(chǎn)廠商,綜述了LTCC材料中的玻璃/陶瓷體系和微晶玻璃體系。分析介紹了國(guó)內(nèi)外主要研究機(jī)構(gòu)開(kāi)發(fā)的玻璃/陶瓷材料,總結(jié)了不同陶瓷材料的介電性能和熱學(xué)性能;介紹了以Ferro公司的A6系列微晶玻璃體系為代表的陶瓷材料,總結(jié)了不同微晶玻璃材料的介電性能和熱學(xué)性能。分析了LTCC材料的加工工藝,簡(jiǎn)述了實(shí)現(xiàn)LTCC材料零收縮的不同技術(shù)。論述了LTCC材料在電子元器件、封裝基板、功能器件和集成模塊中的應(yīng)用。最后指出了國(guó)內(nèi)LTCC材料和技術(shù)開(kāi)發(fā)的不足,并展望了未來(lái)的研究和發(fā)展方向。

微納電子技術(shù)雜志要求:

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