硅微諧振式壓力傳感器閉環(huán)頻率跟蹤電路

許高斌; 徐枝蕃; 胡海霖; 陳興; 馬淵明 合肥工業(yè)大學(xué)電子科學(xué)與應(yīng)用物理學(xué)院; 安徽省MEMS工程技術(shù)研究中心; 安徽合肥230009

關(guān)鍵詞:諧振式壓力傳感器 頻率跟蹤電路 鎖相環(huán) 無(wú)相差 

摘要:

儀表技術(shù)與傳感器雜志要求:

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{2}對(duì)所投稿件,本刊有權(quán)根據(jù)本刊辦刊要求對(duì)其進(jìn)行適當(dāng)刪改或調(diào)整,作者如不愿被改動(dòng),來(lái)稿時(shí)請(qǐng)注明。

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{5}摘要中如采用非標(biāo)準(zhǔn)的術(shù)語(yǔ)、縮寫(xiě)詞和符號(hào)等,均應(yīng)在首次出現(xiàn)時(shí)予以說(shuō)明。

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儀表技術(shù)與傳感器

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