關鍵詞：氧化鎳薄膜 磁控濺射 熱氧化 光伏器件 

摘要：在氬氣氣氛下通過磁控濺射法在ITO基底上制備出單質鎳薄膜,然后在空氣中于400℃用一種簡便的水熱法退火處理2 h,利用熱氧化法得到氧化鎳薄膜。樣品用X-射線衍射儀(XRD)、X-射線光電子能譜(XPS)、原子力顯微鏡(AFM)和紫外可見分光光度計進行了表征。利用太陽能模擬器對ITO/NiO/poly-TPD/PC71BM/Al光伏器件的性能進行了測試。結果表明:器件的短路電流為5.6 mA/cm2,外量子效率(EQE)為1.5%,比PEDOT:PSS作為空穴傳輸層的器件的EQE高20%。熱氧化法制備的氧化鎳薄膜為構筑其他氧化鎳基光伏器件提供了一個良好的途徑。

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